值得一提的是 , 目前世界上仅有蔡司一家企业能够制造出EUV光刻机所需的物镜 , 中科科美研发的直线式劳埃透镜镀膜装置及纳米聚焦镜镀膜装置意味着什么 , 想必大家心里都很清楚 。
除此之外 , 北京华卓精科科技以及成功掌握65nm 至 28nm 双工件干台 , 并已应用在上海微电子28nm光刻机上 。
对EUV光刻机进行过深入了解的朋友都知道 , 它是由EUV光源、EUV光学镜头以及双工件台三大核心部件组成 , 如今 , 我国在这三大领域不断取得技术突破 , 用不了多久 , 必定能完全掌握EUV光刻技术 。
写在最后
中科院高能所所长王贻芳曾在接受央视采访时表示:我们的目标不仅仅是要实现国产化 , 而且还要达到国际领先水平 , 成为反制卡脖子的手段 。
近两年来 , 老美的打打压 , 严重影响到了我国科技企业的发展 , 但同时也促进了我国基础工业水平的整体提升 , 很好的诠释了“塞翁失马 , 焉知非福”这句话 。
笔者坚信 , 在我国科学家的努力下 , 我们一定能在最短的时间内攻克技术难关 , 实现技术独立 , 并让那些不怀好意的竞争对手付出惨重的代价 。
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