芯片|搬石头砸自己脚？国产芯原材设备迎来突破，芯片禁令成为笑话！( 三 ) |科技资讯|科技创新|前沿技术

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当下中微3nm刻蚀机的突破，使得日后国产芯片在精度上会更为准确，同时它的存在也为我国研制出高端芯片增添了一份可能，让不少人看到了国产芯片崛起的曙光。
不过对此也有部分人存在别样的看法，声称在没有光刻机的情况下，研发出最顶尖的刻蚀机也毫无作用！但事实真的如此吗？
【科研团队再发力】
事实上，除了刻蚀机有所突破外，在光刻机领域我们也丝毫不差！
前不久清华团队就与北京华卓精科携手研制出双工件台，获得技术上的重大突破。
要知道，光刻机有着三大核心部件：EUV光源、光学镜头、双工件台，其中制成难度最大、技术壁垒最高的便是双工件台，而此前光刻机的双工件台技术一直被ASML死死握在手中。

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如今掌握EUV光刻机双工件台技术的厂家只有ASML和我国的华卓精科，且此次华卓精科与清华团队所研制的双工件台并非依葫芦画瓢的去仿制ASML的技术，整个双工件台全由科研团队自主研发生产，在芯片制程高度、技术水准上比肩ASML 。
这并非009张口就来，如今上海微电子的28nm侵入式光刻机，所沿用的就是华卓精科制造的双工件台，该工件台在高速运行下理论上符合2nm芯片的制作要求。

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既然华卓精科的双工件台能在理论上达到2nm级的芯片制程水准，那是不是意味着我们能研制出2nm芯片？
【芯片|搬石头砸自己脚？国产芯原材设备迎来突破，芯片禁令成为笑话！】事实上，一切并非大众所想的那么简单，双工件台仅是光刻机的重要部件之一，若想生产2nm芯片，那么光刻机的EUV光源以及光学镜头等其他部件也需与双工件台处于同一水平基准，因此想单凭华卓精科的双工件台，无法成功研制出2nm芯片。

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当然，研制不了2nm并不意味着华卓精科的双工件台毫无作用，其与上海微电子的28nm侵入式光刻机相互结合，我们完全能做到7nm芯片的自主化生产，不过前提是不计较能源、劳动、时间成本。
如今想短时间在光刻机方面实现赶超，我们无法做到，不过ASML总裁温彼得多次在访谈中直言，如果当下西方仍对中国实现技术封锁，那么不出15年，中国就能于光刻机领域实现科技自主。